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洗浄機

作業の安全性、省スペース省ランニングコストを重視した装置設計

PWB-1(治具洗浄装置)

設備の治具類(石英・SIC)を薬液洗浄する専用ブースです。

洗浄作業を自動化することで作業者の安全を確保します。

薬液槽と水洗槽を1つにまとめることで省スペース化を実現しました。

薬液を回収し再利用することでランニングコストを低減します。

小物部品洗浄用の専用バスケットも制作します。

SPEC

2100(W)×1000(D)×2250(H)mm

装置サイズ

850kg

装置重量

49% フッ酸

使用薬液

68ℓ

槽 容量

3本(20ℓポリタンク)

タンク収納数

シーケンサ

コントローラー

カラー液晶タッチパネル(7インチ)

操作パネル

1φAC100V 2KVA

電源

枚葉エッチング装置

チャンバー内でウェハーを枚葉エッチング処理する装置です。

2チャンバーを有し、ウェハーの並行処理が可能です。スループットの大幅短縮を実現します。

上位通信機能に対応可能。CIM機能や上流装置からの製品情報により生産管理を行いヒューマンエラーを低減し生産性を向上します。

SPEC

1680(W)×1680(D)×2400(H)mm

装置サイズ

5インチ / 6インチ兼用

適用ウェハー

混酸

使用薬液

2チャンバー、純水廃液分離方式

処理チャンバー

シーケンサ

コントローラー

ノートPC

オペレーション

給液ユニット

付帯設備

3φAC200V 10KVA、1φAC100V 4KVA

電源

製品紹介

PRODUCT

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